应用描述
采用线阵16K相机、背光加拱形光方式,对芯片表面进行拍摄,然后软件找直线、几何关系测量尺寸。视野大小:60 mm 。精度要求: 0.005 mm 。
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拱形光源
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OPT-FLP9090-B
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