基恩士(中国)有限公司 基恩士(中国)有限公司
名  称: 【形状测量显微镜】非接触式 3D 轮廓、粗糙度及厚度测量显微镜
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上  传: 2012/10/26 10:59:11
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说  明: 光学显微镜的不足:提升倍率后,难以对焦,分辨率不足。
SEM的不足:前处理或样本尺寸等的准备烦琐,仅能以黑白色进行观察。
轮廓仪的不足:不能够实现一边放大观察,一边对工件部位实施非破坏性的凹凸测量。

光学显微镜+ SEM +轮廓仪=形状测量激光显微系统。它弥补了三种仪器的不足,可以轻松实现超群的分辨率观察、多彩的形状测量。简化并改进了 3D 表面特征测量的流程。该产品包含以下高级功能:
·不受材料影响的测量技术
·对接近 90 度的斜面进行成像与分析
·0.5 nm Z 轴分辨率
·120 nm 空间分辨率
·透明薄膜的厚度测量
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