名　　称：
柔性 MOCVD 系统采用基于 PC 的 控制技术打造模块化设备
大　　小：
14.67MB
上传时间：
2021/1/26 16:16:20
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Agnitron 利用 Agilis 两用机开发了一套通过金属有机物化学气相淀积（MOCVD）技术制备半导体材料氧化镓的系统。此外，该系统还能够在需要时切换为其它材料。Agnitron 采用倍福基于 PC 的控制技术，确保满足用户在研发中小型生产设备时所需的高可靠性和灵活的可扩展性。
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