

露点和霜点测量:在电池与半导体制造以及工业干燥中实现超干燥条件的关键
Juhani Lehto
产品经理
Vaisala
在超干燥环境中,选择合适的测量参数对工艺效率和产品质量至关重要。虽然相对湿度 (RH) 传感器在中等湿度水平下性能良好,但随着环境变得更干燥,其可靠性会迅速下降。
为什么露点传感器在超干燥环境中表现优于相对湿度传感器?
这是由于露点与相对湿度之间的非线性关系:当相对湿度低于 5% 时,测量不确定度显著增加,而低于 1% 时,几乎无法准确测量相对湿度。
相比之下,维萨拉的露点和霜点测量设备即使在很低的湿度条件下也能保持良好的准确度和分辨率,有助于提升能效和产品质量,因此成为电池干燥室、半导体制造和工业干燥等严苛应用的优选方案。

露点与霜点:两者在工业应用中的区别是什么?
•露点:水气凝结为液态水的温度。
•霜点:水气形成霜或冰的温度。
露点和霜点并不相同,分清这一点很重要。露点涉及凝结(气体变液体),而霜点则涉及另一种相变——凝华(气体变固体)。在工业环境中,“露点”和“霜点”这两个术语有时会不一致或缺乏明确规范,这会带来歧义和测量上的挑战,这是因为在描述同一痕量水分条件时,霜点值与理论露点值之间存在显著差异。
对于零下测量,“霜点”是正确的术语,直接反映从气体到固体的相变。
PPM 测量是否适用于超干燥条件?
简而言之:没有专用设备则不适用。
在超干燥条件下,使用 ppm 来测量水气浓度并不是理想方法,因为在如此低的水分条件下,尤其是当霜点低于 -60°C 时,无法保持准确度和精度。
当霜点从 -60°C 降至 -80°C 时,绝对湿度(以 ppm 表示)会减少二十倍,这对以 ppm 为单位进行准确测量提出巨大挑战。这一限制凸显了使用专为低湿度环境设计的露点或霜点传感器的重要性。

选择适用于超干燥条件的维萨拉传感器技术
维萨拉提供了两种针对不同湿度范围而优化的传感器系列。HUMICAP® 传感器专为宽范围的 RH 测量 (0–100 %rh) 而设计,而 DRYCAP® 传感器则在超干燥条件 (0–10 %rh) 以及低露点和霜点条件下表现良好。
DRYCAP® 技术融合了自动校准和薄膜聚合物电容感测等功能,确保在压缩空气系统、电池制造以及半导体生产等应用中实现稳定且可靠的测量。
维萨拉如何消除与高精度分析设备相关的挑战
虽然在经过妥善维护并仅使用于稳定的实验室条件下时,实验室分析仪能够提供很高的准确度,但在工业环境中其使用往往并不现实。在工业应用中使用实验室仪表所需的采样管路会带来诸如泄漏、污染(包括湿度)、温度引起的波动以及响应时间延迟等风险。
在关键测量区域中,直接安装可在多种工业条件下可靠运行的快速响应传感器,有助于应对上述挑战,并确保获取实时、可操作的数据。
为您的应用选择合适的维萨拉传感器
为了在超干燥环境中进行稳健且准确的测量,维萨拉推荐:
DMT143:测量范围广,从 -70°C 到 +60°C 霜点/露点(DRYCAP®)
DMT152:专为超干燥条件设计,测量范围为低于 -80°C 至 -20°C 霜点/露点(DRYCAP®)
资料

产品
露点变送器 DMT143
适用于宽广的测量范围:–70 - +60 °C 霜点/露点(DRYCAP®)

产品
露点变送器 DMT152
用于超干燥条件,测量范围为低于 -80°C 到 -20°C 霜点(DRYCAP®)
湿气是一种不可见气体

什么是露点?如何测量?
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