ABL1000系列 为高要求的光学对准和装配专门设计直线编码器反馈可提供2 nm的分辨率用Automation 3200控制系统可做到 1纳米闭环封闭分辨率预加负载的气浮轴承先进的PCI总线控制器低噪音直线放大器全部运动部件灵接触设计 ABL2000系列 预加气浮轴承为了卓越的速度稳定性而设计行程达1.2米直线编码器或激光干涉仪反馈完全非接触设计 ABL8000系列 在所有的气浮轴承表面度预加负载完整的XY子系统包含花岗岩台面行程达1米直线编码器或激光干涉仪反馈
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