世界上第一款3D芯片诞生

http://www.gkong.com 2008-09-04 14:49 来源：嵌入式系统与软件

世界上第一款3D芯片工艺已经准备获取牌照，该工艺来自于无晶圆半导体设计公司BeSang公司。 BESANG公司制作的用于演示的芯片在其控制逻辑上使用了1.28亿个垂直晶体管用作内存位单元。

　　该芯片的设计在韩国国家Nanofab中心和斯坦福Nanofab进行。BeSang公司称，该工艺由25个专利保护，将允许FLASH、DRAM以及SRAM放置在逻辑电路、微处理器以及片上系统上。

　　BeSang公司声称该公司在底层使用高温处理工艺制造逻辑电路，在顶层使用低温工艺来制造内存电路，从而实现了3D芯片。将不同层的逻辑和内存电路放置在同一个芯片中，BeSang公司的处理工艺晶圆中集成了更多的裸片，从而降低了每个裸片的成本。

　　BeSang公司工艺过程为，首先在一个晶圆上通过常规的通孔和连接层来制作逻辑电路，然后在另一个晶圆上制作内存设备，最后将两个晶圆排列并粘在一起，从而形成单个3D单元。