吉时利（Keithley）仪器公司日前宣布与Stratosphere Solutions公司（Sunnyvale, CA）合作，将采用阵列TEG（测试元件组）技术展开先进工艺研发和监测工作。 Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方案。 
   由于IC制造商不断追求制造更小尺寸器件，因此65nm以下水平上的工艺参数偏差为广大设计与测试工程师提出了巨大挑战。半导体行业迫切需要监测极其敏感的生产工艺，以便在不牺牲成品率的情况下获得最佳IC性能。 
   吉时利与Stratosphere Solutions将合作为彼此共同的客户提供一种独特特征分析基本架构，采用吉时利S600系列参数测试仪和StratoPro™ IP实现大容量、高产能、高可靠参数测量解决方案，确保客户成功实现先进半导体工艺。 
   吉时利S600系列参数测试仪通过适应器件工艺变化，帮助晶圆厂和代工厂降低芯片测试成本。这类测试仪可以用作成本极低的直流、射频和阵列TEG测试仪，提高固定设备重用性，从而降低测试成本。S600系列最新产品S680在一个测试系统内实现并行测试功能、高直流测试灵敏度、飞安级分辨率以及高达40GHz射频s参数测量功能，从而为65nm以下工艺节点测量提供具有当前业界最高产能和较低投资成本解决方案。 
   随着工艺几何尺寸缩减到65nm以下，阵列TEG结构，例如Stratosphere获奖StratoPro产品套件，正日益成为半导体工艺特征分析的关键手段。主要半导体公司需要一种事实上的标准产品，StratoPro将同样硅面积上的测试密度提高几千倍，实现最高分辨率测量和改善总体测试完备性。 
   作为一个参数式ActiveMatrix™硅IP平台，StratoPro™将凭借其高精度特性、电气参数及可变性管芯内统计功能帮助晶圆厂和轻晶圆厂用户实现芯片特征分析。用户可以选择65nm和45nm硅验证StratoPro平台，因为它将测试结构的密度提高了10～1000倍，实现很高测量分辨率，结合吉时利测试仪平台后能够大大缩短测试时间。晶圆厂用户可以在工艺研发的早期、成品率改进和生产监测过程中使用StratoPro™。轻晶圆厂用户可以使用该系统对与设计风格相关工艺偏差进行特征分析。