4臂机器人灵活搬运晶圆

http://www.gkong.com 2008-12-08 15:44 来源：日经BP社

编者语：12月3日～5日，爱发科在“SEMICON JAPAN 2008”上参考展出了这种同心6轴型搬运设备。

   用4只机器手灵活搬运硅晶圆。爱发科在“SEMICON JAPAN 2008”（12月3日～5日，幕张Messe会展中心）上参考展出了这种同心6轴型搬运设备。此次为首次面向公众开放，为了一睹实机风采，参观者络绎不绝，纷纷向解说员热心咨询。

   据该公司介绍，尽管此前已存在使用4只机器手的晶圆搬运设备，但4只机器手只能进行相同操作。因此，将晶圆搬入搬出制造设备的处理室时，也只能4只机器手同时搬运，无法灵活搬运晶圆。而此次的搬运设备4只机器手均可独立工作，因此能够从处理完毕的晶圆开始，按顺序连续不断地将晶圆搬入搬出。该公司表示，通过将轴数量由原来的3～4轴增加为6轴实现了这种搬运功能。

   目前，企业不断要求提高半导体制造设备的生产性并降低COO（Cost of Ownership），可以说此次的同心6轴型搬运设备是搬运设备厂商针对该要求提出的一个解决方案。

4臂机器人灵活搬运晶圆

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