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Celerity推出新型GF100系列质量流量控制器

http://www.gkong.com 2009-02-05 16:21 来源:科讯网

  作为为全球半导体生产商、太阳能和电子工业提供精确仪器和先进气体与液体解决方案的技术领先商,Celerity公司宣布,该公司面向市场推出新型GF100系列质量流量控制器(MFC)。该产品旨在精确测量、监控和控制半导体设备及太阳能电池生产工艺中的超纯度工艺气体化学反应。该新型Celerity GF100系列质量流量控制器是一个可高度配置的平台,具有Celerity第二代专有的压力瞬变不敏感型流量技术,可以改善工艺控制、降低拥有成本,并消除存货管理的复杂性。

  该新型Celerity GF100系列质量流量控制器产品系列具有诸多重要优势,包括高精确度、可重复的气体测量、先进的数字架构进行的控制、为实现最大工艺灵活性和最优化对气体和流量范围进行原位电子再配置、压力瞬变不敏感型流量技术设计(显著减少了高纯度气体输送系统的成本和体积)、以及便于自己进行简单、有效的维护工作的嵌入式智能诊断、维修端口和软件。

  Celerity公司销售与市场营销部高级副主席David Somo表示:“Celerity公司一直是先进数字超高纯度质量流量控制器方面市场领先供应商,也是压力临时不敏感型MFCs产品领先供应商。通过结合公司在气体流量控制方面的丰富经验,该GF100系列 持续改善我们市场领先的质量流量控制器精度,为客户提供无间隙RoHS兼容升级功能。”
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