产品类别:气体质量流量计/流量控制器
产品型号:气体质量流量计EM1
产品特点:
技术规格:
-领先的CMOSaens?技术
-高性价比
-输出数据速度快(快至5ms)
-宽量程比,精度高(1:100精度3%m.v.)
-量程范围:0-0.05ln/min;0-0.5ln/min;0-20ln/min;0-200ln/min
-操作压力:8bar
-数字式校验&温度补偿
-数字式输出:RS 232/SPI
-标准电源电压:7-18V
-强固的化学惰性机械聚碳酸脂壳体
-安装形式多样
-生产符合ISO9001质量控制系统认证
应用领域:
-分析仪器 -干刻(RIE/DRIE)-生物技术 -气相色谱分析-激光焊机 -过程自动化-真空镀膜 -燃料电池
下载资料:
EM1 数据手册