产品类别：气体质量流量计/流量控制器
产品型号：气体质量流量计EM1
产品特点：
技术规格：
－领先的CMOSaens?技术
－高性价比
－输出数据速度快(快至5ms)
－宽量程比，精度高(1:100精度3%m.v.)
－量程范围：0-0.05ln/min;0-0.5ln/min;0-20ln/min;0-200ln/min
－操作压力：8bar
－数字式校验&温度补偿
－数字式输出：RS 232/SPI
－标准电源电压：7-18V
－强固的化学惰性机械聚碳酸脂壳体
－安装形式多样
－生产符合ISO9001质量控制系统认证
应用领域：
－分析仪器 －干刻（RIE/DRIE）－生物技术 －气相色谱分析－激光焊机 －过程自动化－真空镀膜 －燃料电池
下载资料：
EM1 数据手册
