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设计特点
· 低价位
· 洁净型，适用于分析仪器
· 量程比大于50：1
· 多种电子和机械结构
· 便于定制
· 低电流消耗
·气密性关断截止
机械指标
最大操作压力：200PSIG（13.79bar）
最大工作温度：85℃（185℉）
用户最高可定制200℃（392℉）
流量系数Cv范围：1.6×10-4～4.0×10-2
流量范围：40sccm～10，000sccm（N2在70℉&5PSIG）
量程比（典型）：50：1
连接：1/16〞、1/8〞或1/4〞卡套
电气连接
先和连接电阻：75-85欧姆
线感应：25mH
阀开启电压：2.5-7Vdc
控制量程范围：1-2Vdc
功率消耗：0.8瓦（典型）
材质
主体：铝（电镀）或不锈钢
孔：铜或不锈钢
阀组件：不锈钢
O型环和阀座：Buna N.乙烯.丙烯，KalrezTM Neoprene or Viton TM
过程接口：铜或不锈钢
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