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产品规格
流量范围： 0-1000 sccm
最大操作温度： 160℉(71℃)
性能： 流量灵敏度（偏差）：请详见A图
-------精确调节（分辩率）： 15转
压力调节范围： 0-15 psig(0-103.4KPa)
--------------0-30 psig(0-206.9KPa)
--------------0-60 psig(0-413.7KPa)
--------------0-100 psig(0-689.5KPa)
连接 ：入口、出口和表接口均为 1/8”Swagelok
结构材质
主体：铝或不锈钢
阀帽：铝
孔：铜不锈钢
阀座： Viton
隔膜： Fairprene BN-5029（Buna N在尼龙上）或不锈钢
范围弹簧：琴线
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