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设计特点
· 尺寸极小
· 无须辅助和实际的关断截止
· 全棒料结构
· 适合面板安装
· 气密性关断截止
产品规格
流量 ：15 slpm（在氦气供应压力为60psig(413.7KPa)和出口压力15psig(103.4KPa)）
最大操作压力： 250 psig (1.72MPa)
最大操作温度： 160℉ (71℃)
总压降 ：最小 10 psi (69.0KPa) ；最大250 psi (1.72MPa)
性能 ：（基于氦气供应压力为 60 psig(413.7KPa)和出口压力为15 psig(103.4KPa)时）
供应压力波动影响 ：供应压力变化 10 psi（69.0KPa）时，出口压力变化不会超过0.07 psi（0.48KPa）
环境温度影响：（温度系数） 0.013 psi/℉（0.024 psi/℃）
漂移：最初 15分钟少于0.2%，长期总体合计少于0.6%
流量灵敏度（衰减）： 氦气流量从 2 sccm变到250 sccm时，出口压力变化不会超过0.2 psi（1.38KPa）
基线 波动 ： 0.0012 psi(8.3Pa)
精确调节（分辩率） ： 15转
压力调节 范围 ： 0-10 psig （69.0KPa）
0-30 psig （206.9KPa）
0-60 psig （413.7KPa）
0-100 psig （689.5KPa）
连接 ： 入口和出口均为 1/8”Swagelok；表接口为10-32 UNF-2B
结构材质
主体 ：铝
阀帽 ：铝
提升阀 ：不锈钢
孔 ：不锈钢
膜片 ：不锈钢
范围弹簧 ：琴线
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