技术参数
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一
响应时间 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 满量程（除 114 型）； ± 1.5% 满量程（ 114 型）
再 现 性 ： ± 0.2% 满量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程）
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃
最大操作压力 ： 3000PSIG （ 20MPa ），具体请参考表一
零点漂移：± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移： ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移： 0.1%/atm （相对于 N 2 ）
安装方向： 对位置不敏感
预热时间： 10 分钟
电气连接： 卡式（ 20 针）或 D 型（ 9 针）
流量信号输出：
0-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
0-10VDC （最小负载电阻 3K Ω ）；
1-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
4-20mA （请参考下面的说明）；
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻：
环路电压为 6.5-15VDC 时： 0-450 Ω
环路电压为 15-30VDC 时： 200-750Ω
供应电源 ：
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC
电流消耗：＜ 45mAdc
重 量 ：请参考表一
结构材质
主 体： 316SS
传感器组件 ： 316LSS
密封材质（” O ”型环）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ? ， Neoprene ， Viton?
过程连接： 316SS
