技术参数：
热式原理
量程：流量计5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材质：接液部位：316L不锈钢
密封材质：标配氟橡胶（Viton）；丁纳橡胶（Buna）
泄漏率：不超过1×10 毫升/秒，氦气
环境温度及介质温度：0-60℃
精度：1%FS（包括线性精度）
量程比:100:1
响应时间：1S
重复性：优于0.15%FS
压力极限：500PSIG
最大压降：流量计：250Pa
控制器：7-14KPa（500SCCM以下）
控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）
电源：24VDC@250mA（流量计）24VDC@350mA（控制器）
输出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入电源）
设定点信号：内置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳线）
电气连接：9针D接口（9 Pin Sub D）
温度影响系数：优于0.05%FS/℃
压力影响系数：优于0.01%FS/PSI
标准温度：21℃
标准压力：760Torr
重量：流量计：440g 控制器：460g
