敞开式直线光栅尺 海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头 与光栅尺或光栅尺钢带间没有机械接触。 这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较 仪和其它长度计量领域的精密仪器以及生 产和测量设备，例如半导体工业应用。
• 精度等级，不低于± 0.5 µm
• 测量步距至0.001 µm（1 nm）
• 最大测量长度达30 m
• 读数头与光栅尺间无磨擦
• 尺寸紧凑和重量轻
• 运动速度快
LIP和LIF系列敞开式直线光栅尺特点是测量 步距小、测量精度高。其测量基准为玻璃 或玻璃陶瓷基体的相位光栅。
LIP和LIF系列光栅尺主要用于：
• 测量机和比较仪 • 测量显微镜 • 超精密机床，例如加工光学元件的金刚 石刀具，加工磁盘端面车床和加工铁氧 体元件的磨床 • 半导体工业的测量和生产设备 • 电子工业的测量和生产设备 LIF 481 V和LIP 481 V（最高真空度达10–7 bar）以及LIP 481 U（超高真空度达10–11 bar）能满足高真空度真空应用的特殊 要求。
LIF 400系列
• 用PRECIMET粘膜快速方便地固定光栅尺 • 由于采用SUPRADUR光栅技术， 对污染较不敏感 • 用限位开关和回零轨检测位置
敞开式直线光栅尺 海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头 与光栅尺或光栅尺钢带间没有机械接触。 这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较 仪和其它长度计量领域的精密仪器以及生 产和测量设备，例如半导体工业应用。
