1.去除加工法 是采用研磨法、切削法、离子抛光法等使光学非球面零件的型面符合设计要求。研磨法通过凸轮仿形机、各种修带工具及数控机床等来实现。非球面加工主要采用研磨法、其中以修带法为多。切削法对光学非球面进行精密机械加工。离子抛光法的起始精度为γ/2.抛光速度一般为8~12nm/h 。
2.变形加工法 主要包括弹性变形法、热压成型法、压铸法和热吸法等,比较常用的是热压成型法。但这种方法制造精度低,只适于制作一般的聚光镜或简单光学系统的非球面透镜。
3.附加加工法
a.镀膜法 在球面基底上通过蒸镀或溅射方法,
淀积成偏离球面形状的非球面。必须精确计算不均匀淀积的非球面档板形状和选抒合适的工艺参教。
b.复制法
4.非球面的检验 非球面在完!工检验时,除采用阴影法做定性测量外,还有星点定性检验法、弥散盘定性评阶法、哈特曼定量法、剪切干涉法和全息检捡法等。
来源--仪器仪表网
|