由于半导体车间经常需要全天候运转，因此危险气流分布系统，尤其是将气流供应给多个过程工具时，必须包含自动监控和控制功能，从而确保可靠性，这些可靠的系统不仅确保半导体的质量，更重要的是，它们还保护人身安全。液空电子（ALE）通过将GE Fanuc提供的一组创新的人机界面（HMI）触摸屏和可编程逻辑控制器（PLC）与DST Controls（位于加利福尼亚州的贝尼西）的定制控制系统工厂相结合来实现自动监控和控制。

成果： 高可用性，保护工厂生产和人员安全。 易操作的操作员界面。 更强的系统安全性。 高速的以太网通讯。 紧凑型控制，减少空间需求。 更快速、安全的远程连接。 详细情况，请下载本手册