"数字质量调节器" CMQ
ü 特点
500ms高速控制
0.98~294kPa不同低压下操作
在标准模式下可提供不同的功能
指示，积分算法，模拟输出，报警输出
可变气体类型，可变控制范围
ü 规格书
控制范围 0 到 200 cc/min ~ 0 到 500 L/min（氮气）
0 到 500 cc/min ~ 0 到 1,000 L/min（氢气）
精确度 +/- 1.0%FS
重复能力 +/- 0.5%FS
适用气体 空气，氮气，氩气，氧气，二氧化碳
城市煤气，甲烷，丙烷，丁烷，乙炔
氢气，氦气，氨气，乙烯，氧化乙烯
"质量流量计" CMS
ü 特点
大范围容量，高精确度
不同产品
在标准模式下可提供不同功能
指示，积分算法，模拟输出，报警输出
可变气体类型， RS-232通信
流量范围 0 到 500 cc/min ~ 0 到 1,500 L/min（氮气）
0 到 10 L/min~ 0 到 2,000 L/min（氢气）
精确度 +/- 3.0%RD
重复能力 +/- 1.0%FS
适用气体空气，氮气，氩气，氧气，二氧化碳
城市煤气，甲烷，丙烷，丁烷,气，氦气
