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EF-VS410 CCD平整度检测仪
【芯片平整度检测系统描述】
芯片CCD平整度检测仪专门用于检测各种IC芯片针脚及其平整度（水平直线度、共面度）、间隙、针脚宽度等。系统在检测标定平面度时能达到0.01mm以上的精度。可根据检测要求设定平整度误差范围。
芯片平整度检测系统软件运行界面图如下：
【芯片平整度检测系统主要功能】
§ 检测芯片针脚的个数；
§ 可测量芯片针脚的多个位置的几何尺寸，包括pitch间隔、宽度、高度等；
§ 检测针脚的共线度等平整度指标；
§ 系统检测到质量问题时，能发出报警信号，并输出控制信号；
§ 可对检查出的所有废品对应的图像能够存储和查看；
§ 系统有自学习功能，且学习过程操作简单；
§ 系统可通过RS232接口或以太网接收上位机控制信号。
【芯片平整度检测系统主要技术特点】
§ 操作界面清晰明了，简单易行，只需简单设定即可自动执行检测；
§ 检测软件及算法完全自主开发，采用亚像素技术实现超高的检测精度；
§ 检测精度达到0.01mm以上；
§ 可灵活设置模板查找、平均灰度值检测等多种检测算法；
§ 可选择局部扫描功能，提高检测速度；
§ 专业化光源设计，成像清晰均匀，确保不形成光斑；
§ 支持多种IC产品的检测、具备产品在线自动搜索等功能；
§ 安装简单，不影响原生产线工作；结构紧凑，易于操作、维护和扩充；
§ 可靠性高，运行稳定，适合各种现场运行条件。
§ 基于PC平台，系统可扩充性强，基于EF-VS机器视觉软件平台可扩展管脚测量等功能，也可外接SPC软件。
平整度检测系统示例软件运行界面：
1、检测芯片的管脚数、管脚间距、管脚高度
2、检测芯片的管脚间距、高度、数目，连接器的夹角、中心节距、平整度工件的外缘、内缘、质心等
