AWM40000系列
气体质量流量传感器包括不带放大和放大信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000
气体质量流量传感器相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000
气体质量流量传感器相同的电路。AWM43600V
气体质量流量传感器为6SLPM 器件。
图1 WM43300V气体质量流量传感器发热控制电路
图2 WM43300V气体质量流量传感器传感桥路供电电路
AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:
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AWM42150VH |
AWM42300V |
AWM43300V |
AWM43600V |
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流量范围（满量程） |
±25sccm |
±1000sccm |
+1000sccm |
+6LPM |
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输出电压@ 标定点 |
8.5±1.5mV @25sccm |
54.7±3.7mVDC @1000sccm |
5±0.15VDC @1000sccm |
5±0.15VDC @6LPM |
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零点电压 |
0.0±1.0 mV DC |
0.0±1.0 mV DC |
1.00±0.05VDC |
1.00±0.05VDC |
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零点漂移+25~-25˚C +25~85˚C |
±0.20mV DC |
±0.20mV DC |
±0.025VDC |
±0.025VDC |
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输出电压漂移+25~-25˚C +25~+85˚C |
+2.5% 读数(典型值) -2.5% 读数(典型值) |
±2.5% 读数(最大值) +6% 读数(最大值) |
-5% 读数(最大值) +6%读数(最大值) |
-5% 读数(最大值) +6% 读数(最大值) |
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重复性& 迟滞 |
±0.35% 读数 |
±1.00% 读数 |
±0.5% 读数 |
±1.00% 读数 |
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压降@ 满量程（in H2O） |
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1.50(典型值) |
1.02(典型值) |
8.00(典型值) |
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Min Typ. Max. |
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电源（VDC） |
8.0 10±0.01 15 (2) |
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功耗（mW） |
50 60 |
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反应时间（ms） |
1.0 3.0 (1) |
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共模压力（psi） |
150 |
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输出负载 |
NPN(电流沉):10mA PNP（电流源）：20mA |
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标定气体 |
氮气（AWM42150VH 为氢气） |
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比率变化量 |
±0.3% 读数 |
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工作温度 |
-25~85C |
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储存温度（˚C） |
-40~90C |
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冲击 |
100g 峰值(5drops,6axis) |
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注：1、从10%~90% 反应时间一般1 毫秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、最大的防止损坏的流量变化量：5LPM/1.0sec
