纵观半导体设备的发展历史，不难发现半导体设备紧随全球芯片制造中心而不断东移：从70-80年代的美国，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中国台湾与韩国。

随着中国高端制造技术的不断发展，与本身庞大的市场需求相互帮衬，未来十年，中国有望成为半导体芯片制造的全球中心。

目前，在国家重大科技专项的支持下，集成电路主要工艺设备如PVD、PECVD、CMP、介质刻蚀机、CMP等技术均有显著提升。而IC晶圆生产线的设备国产化率也在不断提高。设备技术的提升也拉高了对光学传感器性能的需求。除了对精度、稳定性等性能要达到极高的标准外，传感器也被要求实现更多的检测任务。

作为有着超过75年历史的工业传感器领先生产厂商，SICK具有深厚的技术积累，丰富的产品种类，可以为半导体设备厂商提供更多样的产品、更优异的性能以及更专业的服务。

1 硅板厚度测量

产品系列：

OD5000位移测量传感器

订货号：6063621

客户应用:

1.太阳能硅片分选机，客户需求在皮带输送线上检测硅片的厚度，精度要求为2um

2.采用2*OD5000-C30T05上下组合方式，来测量硅片的厚度

3.客户利用上位机接受数据做算法处理，判定硅片的规格

客户受益:

双头侧厚，通过以太网接口和集成在传感器内部评价单元，无需额外控制器计算

高达80kHZ测量频率，准确测量微小变化

激光定位更加柔性，可视觉，产品定位精度更高

实时在线测量，相对于线激光方案，节省成本，精度更高

2 石英载具到位检测

产品系列：

WTF12G

订货号：1065719

客户应用：

1.石英载具装载硅片进行热处理、涂层等一系列工艺流程。

2.需要对半透明石英载具进行稳定到位检测，由于热处理中温度较高，无法安装反射板，只能选择漫反射。

3.检测距离较远，无法使用V镜头光电传感器。

客户受益：

WTF12G是漫反射前景抑制型原理，无需反射板，只需对背景进行示教即可

可以稳定地检测透明、半透明等物体

检测距离可达700mm

3 硅片检测：

产品系列：

 

G2F，WTV4FE

WTV4FE订货号：1105444

GTB2F订货号：1093737

客户应用：

1.检测硅片的到位与有无，硅片表面光学性能特殊，普通漫反射光电很难稳定检测

2.安装空间十分有限，需要迷你型尺寸光电

3.无法安装镜反射与对射型光电

客户受益：

G2F扁平型外观设计，可以安装在狭小的空间中

独特的V型镜头设计，可稳定检测高反光、透明薄膜，深黑色吸光平面。

WTV4FE可进行旋按式示教，V镜头检测距离增加至50mm

产品系列：

WTT4SLC

订货号：1097190

应用需求要点：

1.检测距离400-500mm

2.检测边缘，客户需要光斑尽可能小

3.安装位置有限制，只能接受漫反射光电

客户受益：

WTT4SLC时间飞行原理，可稳定从倾斜角度或侧面检测带有弧度的物体，并且不受物体表面颜色和材质的影响

具有优异的背景抑制性能，可稳定屏蔽背景干扰

漫反射检测，最远可达到1.3m检测距离

光斑聚拢，4mm（1m），可以从侧面检测薄片边缘

4 Roller（输送轮）粗糙度区分：

产品系列：

Glare系列光泽度传感器

应用需求要点：

1.现场面板传输设备运输基板一段时间后，基板与Roller摩擦导致Roller表面光滑，失去输送力。

2.不同摩擦情况不同导致基板受力不均匀，造成良率下降，稼动率降低，客户使用Glare光泽度传感器对Roller表面粗糙程度进行检测。

客户受益：

原本客户解决方法为工作人员定期停机检查，使用自制比对卡进行人眼对比观察。

使用Glare光泽传感器后客户受益如下：

降低检测误差

减少检查时间

节省人力资源

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Glare系列光泽度传感器

PowerProx系列 MultiTask光电传感器

W4F 迷你型光电传感器

位移测量传感器OD5000