世界范围内，同类产品中效率最高的干涉仪
3-轴外差频率激光干涉仪，用于位置测量、俯仰角、偏摆角和三角的测量 高柔性调整模块，用于CNC-校定 最大动态测量速度4m/s 标准分辨率1nm (位置), 0.01"(角) 精度<50nm/m (使用高精度温度传感器) 兼容PCI和PXI总线，兼容网络 也适用于3D的快速调整 所有3轴的实时时间测量 最多可扩展到6轴 小型反射镜 外部最大触发频率40MHz
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