产品功能
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波面度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100*100mm，更大尺寸可以定做；工作台最大承载重量40Kg。
产品广泛应用于汽车工业、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。
应用范围
* 机械密封的平面度和轮廓测量（包括圆柱套筒累零件，如轴、凸轮、缸套、阀门挺杆、曲轴、活塞杆等）；
* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析；
* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；
* 造纸行业的表面纹理分析；
* 膜片的厚度及涂层的高度测量等；
* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量；
* 压花材料表面特征分析，如合成材料皮革表面形状测量分析；
* 丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物医疗器械等；
* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；
* 法医学上三维表面测量分析；
* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析；
* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析；
* 医学上如人造皮肤的轮廓分析；
* 沟槽深度和截面计算分析；
* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量；
* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析；
* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波面度和轮廓测量分析。
产品介绍
英国Scantron Industrial Products Ltd公司生产的Proscan 2000光学表面形貌特征测量分析仪，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品的和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。由于采用非接触的测量方式，线性电机可以避免驱动装置的噪声和振动对测量结果的影响。
Proscan 2000光学表面粗糙度轮廓仪最大扫描速度可达到80mm/秒，每秒2000个数据点，每行可扫描20000个独立的数据点，高度分辨率更可达到3nm，测量范围是80μm-10mm。
Proscan 2000以花岗岩为工作平台，是快速、精准、非接触式的三维表面形态测量仪器。广泛应用各种表面轮廓和形貌特征进行精确测量的场合。高性能非接触式光学传感器扫面范围是150mm（长）X100mm（宽），对被测件平面的扫描点数最多可达八百万个数据点。配套软件可以对各种测量参数进行分析。
产品特点
* 花岗岩框架结构，受热胀冷缩影响非常小，基本没有振动。
* 配套软件可以以二维或三维的方式进行数据分析实时显示和形貌分析。
* 数据分析结果方便导出，导出方式可谓ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 数据设定可选择二维X-Y平面视图，还可进行三点平面修正和自动水平功能。
评定参数
Am 轮廓算术平均值
Ra 粗糙度中心线平均值
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 十点高度
Rmax 峰谷高低最大值
Rp 峰值高度平均值
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度最大值
Rvm 谷值深度最大值
R3z 第三峰谷高低平均值
Wt 波形深度总值
Pt 轮廓深度总值
Nr 峰值计数归一
Tpa 材质率（宏）
D 峰值密度
S 峰值轮廓平均间距
Sm 峰值就地平均间距
Lm 采样长度
共面性
Warpage滤波器，过滤表面粗糙度数据，而仅保留轮廓数据
Surface滤波器，过滤表面轮廓数据，而仅保留粗糙度数据
对单点进行编辑
在X和（或）Y轴上进行插值
半径计算
体积计算
表面积计算
截面积计算
三维轮廓显示
技术规范
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扫描仪最大尺寸（长*宽*高） |
740*542*（780-835）mm |
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扫描仪最大重量 |
40Kg |
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电控部分尺寸 |
570*700*750mm |
|
电控部分重量 |
40Kg |
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计算机显示器 |
15” LED显示器 |
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照明与定位摄像头（可选） |
14” CRT |
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扫面平台尺寸 |
380*280mm |
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X和Y轴行程距离 |
150mm*100mm |
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Z轴行程距离 |
100mm |
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电源 |
220 - 240 VAC, 50/60Hz |
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使用环境 |
10-35℃ |
|
X及Y轴扫描点最小间隔距离 |
1μm |
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X及Y轴扫描点最大间隔距离 |
9.999mm |
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标准配置扫描样品最大重量 |
6Kg |
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最大数据采集速度（取决于传感器及设定） |
20000点/秒 |
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最大扫描速度（取决于传感器及设定） |
80mm/秒 |
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回程速度 |
100mm/秒 |
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最大扫描点数 |
576万点 |
传感器选型方案
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传感器
型号 |
垂直
测量范围 |
物镜测量距离
mm |
分辨率 |
线性度
（%+/-量程） |
技术
原理 |
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S5/03 |
0.3mm |
5 |
0.01μm |
0.1 |
白光色差技术 |
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S38/3 |
3mm |
38 |
0.1μm |
0.1 |
白光色差技术 |
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S65/10 |
10 mm |
65 |
0.3μm |
0.1 |
白光色差技术 |
|
L25/2H |
2 mm |
25 |
0.1 μm |
0.05 |
三角测量技术 |
|
L35/10H |
10 mm |
35 |
0.5 μm |
0.03 |
三角测量技术 |
|
L50/20H |
20 mm |
50 |
1 μm |
0.03 |
三角测量技术 |
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L70/50H |
50 mm |
70 |
2.5 μm |
0.03 |
三角测量技术 |
各种可选项
* 照明与定位摄像头，用于小型部件的定位和缺陷检查；
* 其他各种传感器；
* 仿制材料，用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合；
* 比标准的X和Y行程范围更大的测量平台。
产品尺寸图
应用举例
一、电子元件的形貌检查
电子元件的原貌
对单个BGA的扫描结果
100%检测BGA（包括穴距）和倒装芯片的包装情况，自动分析共面性、球面高度、球的位置和包装扭曲情况；分析丝焊高度和轮廓；亚微米级分辨率，三维图形显示平均、最大和最小深度。
二、部件表面粗糙度测量
被测部件原貌
扫描后的结果分析
精确分析被测部件的表面纹理、波面度和形态特征，符合ISO和DIN的粗糙度国际参数分析标准，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可测量出平面度、表面积、体积、承载比和部件的精确尺寸。
三、纸张类表面的纹理分析
扫描前的产品原貌
扫描后的分析图
对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析，自动计算各种表面分析的参数，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，测量速度快，结果准确，操作简单。
视频资料
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样本下载
表面粗糙度轮廓仪2000.pdf
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