http://www.winsensor.com.cn
http://www.winsensor.com
DGS03质量流量控制系统主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设备、，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。系统默认配置为： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：数字。
∮主要技术参数：
|
流量规格(N2)
|
（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
|
|
准确度
|
±1.0% S.P . (≥35% F.S.)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.)
|
|
线性
|
±0. 5% F.S.
|
|
重复精度
|
±0.2% F.S.
|
|
工作压差范围（＜0.02MPa）
|
0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35Mpa 流量规格＞10SLM
|
|
温度系数
|
零点：≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃
|
|
耐压
|
3MPa
|
|
响应时间
|
≤2sec
|
|
漏率
|
1×10-10pa.m3/sec He
|
|
密封材料
|
氟橡胶; 氯丁橡胶
|
|
工作环境温度
|
(5~45) ℃
|
