美国 MCMILLAN 流量控制器 U801
材质： 外部材质： PTFE、Polypropylene、Viton、Epoxy、接液部分：PTFE、Kal-Rez、蓝宝石
阀类型：双膜片阀
接头：PTFE 阳锥形孔；
温度范围：0-60℃
重复性：±0.2%F.S.
电源电压：22-25VDC
工作寿命：正常工作可达数百万次且阀不会受损或衰退
输出信号：0-5VDC/4-20mA/0-10VDC
流量控制器输入信号：0-5VDC/4-20mA/0-10VDC
保护开关：3线继电器（常开/常闭）
特点：提供瞬时流量的监控来提升优良率的控制过程；高低流量报警系统，加药系统流量监控；CMP工作台上化学传导系统，
应用范围：酸液；溶剂；高纯进度液体或混合性流体；
流量范围：
