日本HEPHAIST精工株式会社生产UVW,XYZ,XYR,XYRZ,等工作台，同时兼容超薄型简单构造和高刚性在同一平面上配置三个执行器，实现了超薄型简单构造。此外，“预压式双滑动构造(已取得专利) ”对推力(垂直方向负荷)刚性、力矩负荷很强，防止由于偏负荷造成的台面变形和隆起。 高精度的定位 “预压式双滑动”承载负荷，执行器不直接承载负荷。因此可以得到不受负荷变化影响的稳定的精度。 自由设定旋转中心，可以以任意坐标点为中心使工作台旋转。

适用场合：半导体制造设备、检测设备、LCD、PDP、丝网印刷机、PCB印刷，液晶显示器设备，激光设备等

NAF3工作台（标准产品）

超薄结构

结构图

同时兼容超薄型简单构造和高刚性在同一平面上配置三个执行器，实现了超薄型简单构造。此外，“预压式双滑动构造(已取得专利) ”对推力(垂直方向负荷)刚性、力矩负荷很强，防止由于偏负荷造成的台面变形和隆起。 高精度的定位 “预压式双滑动”承载负荷，执行器不直接承载负荷。因此可以得到不受负荷变化影响的稳定的精度。 自由设定旋转中心台面，可以以任意坐标点为中心使台面旋转。

 動作原理

同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。

U軸を動作させると、テーブルはX方向へ移動します。		V、W軸を同一方向に同じ量を動作させると、テーブルはY方向へ移動します。		V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同時にU軸を動作させると、テーブルは斜め方向へ移動します。
テーブル中心を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。		任意の点を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。

製品仕様