直线电机为直驱电机，无需中间连接机构，因此没有被隙，具有极佳的动态响应性，能够达到极高的加速度及速度；反馈系统采用光学尺，能够达到很高的精度。单轴可配备多个动子，运动轨迹可程式化，电机尺寸、行程客制化设计；主要分为有铁芯系列、无铁芯系列；可提供XY、龙门、桥式等结构。
线性马达◎特点 ：
●高速度、高精度
●高加速度
●动态响应性极佳
●无被隙
●行程不受限制
●单轴可安装多个动子
◎应用 ：
●半导体设备
●自动化搬运
●FPD设备
●太阳能设备
●PCB设备
●水刀切割
●AOI检测设备
●工具机
平面马达◎特点 ：
●X-Y平台
●整合位置感测器可做闭回路控制
●采用空气轴承故无摩耗
●磁场不外露，不影响周围设备
●无温升问题
●可倒吊安装
●定子面积最大可达1000x1000mm
◎应用：
●晶圆检测设备
●点胶机
●PCB钻孔机
●PCB检测设备
●光学元件检测
●电子元件检测
转矩马达◎特点 ：
●无背隙驱动
●中空轴
●没有齿轮传动摩擦
●不用维护，体积小
●大转矩
●极佳动态性能
●无刷驱动
●增量光学尺
◎应用 ：
●半导体运输
●电子元件
●工具机
●电子元件检测
●光学元件检测
●机械人
