AX10FA模拟型直接热式质量流量计 AX10FA直接热式质量流量计控制器
AX10FA直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，
AX10FA可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，
AX10FA也同样适用。
AX10FA直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。
产品应用
产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。
产品特点
● 直接热式原理，无层流元件
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● 精确测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,零漂小，可靠性高
● 多种气体可选,也可自行输入
技术参数
技术指标 AX10FA-RC质量流量控制器 AX10FA-RM质量流量控制器
量程范围 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
控制范围 控制器20：1 流量计20：1
准 确 度 流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃
线 性 ±0.5%F.S
重复精度 ±0.2%F.S
响应时间 100ms 10ms
数 字 量 RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量 0～5V、4～20mA、1～5V
供电 12V/24V/±15V可选
工作温度 0～50℃
工作压力 工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
最大耐压 低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa
电气连接 DB15孔
漏 率 1×10-9SccsHe
温度系数 ±0.015%F.S/℃
底座材质 316L
密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头 VCR1/4;swagelokφ6
