高纯气体露点变送器特点：
在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 高纯气体露点仪变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的首个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
高纯气露点仪的亮点：
|
● 安装简便
● 高度的稳定性和重复性
● 测量范围最低达-120°C露点，相当 于〈1 ppbV
● 最佳精确度为±1°C露点
● 4~20mA及RS 485输出
● 半导体工业表面处理和清洁 |
|
| [ 高纯气体露点仪技术参数 ] |
| 传感器 |
类 型：密析尔先进的陶瓷湿度变送器
测量范围：-120~-40°C 露点 (标定-100~-40°C)
精 度：-60~-40 范围为±1°C
-100~-60 范围为±2°C
-120~100 范围为±4°C(估)
分 辨 率：-80~-40范围为0.1°C
-100~-80 范围为1°C
-120~-100 范围为 1~3°C
额定压力：最低为10-9torr；最高为 24MPa
气体流量：1~5 NL/min |
| 电子电路 |
电 源：额定24VDC，10V min，28V max，25 mA max
输 出：4~20mA可调，使用提供的界面软件调节范围
1~80°C
最大负载=1kΩ (28VDC 时)
最小负载=200Ω(10VDC 时)
出错状态显示：
23mA＝变送器故障 20mA＝超过测量范围；
4mA＝小于测量范围
这些设置能通过提供的软件界面进行调整 |
| 机械结构 |
探 头：冷拉不锈钢，内部0.1-0.2μmRa镭电镀抛光
气体连接口：优阻Premium和OEM 型－1/4"外螺纹VCR
连接
朴若 Pura变送器－1/2"外螺纹VCR连接
安 装：优阻Premium和OEM：
安装方式为工业标准120mm间距，另有2个M4
螺孔，0.7 螺距，孔深7mm，孔间距20mm
朴若 Pura变送器：
装入用户的 1/2"VCR连接口
外形尺寸：优阻Premium和 OEM：120x35x150mm
朴若Pura变送器：132x35mm
重 量：优阻Premium和 OEM：450g
朴若Pura变送器：180g
包 装：朴若Pura双层包装，UHP 惰性气体密封
朴若Pura OEM 和朴若Pura 变送器：单层包装
全部选项：运输时各个产品选件均有泡沫塑料衬垫保护，外
包装为纸板箱，变送器探头表面装有护套，防止
运输和装卸过程损坏 | |
