型号
CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8
CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8
测量范围
X 轴100mm 200mm
Z1 轴(检测部) 60mm (水平位置±30mm)
Z2 轴(立柱) 移动量300mm 500mm 300mm 500mm
检测器
(Z1 轴 : 检测器)
测量单元圆弧光栅尺
分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm
测针上/ 下运作弧形移动
移动方向向前/ 向后 双方向
测针方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(单独测量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可连续测量)
测力CV-3200 系列 : 30mN (根据配重调整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根据软件转换)
跟踪角度向上77o、向下83o(根据表面粗糙度*1 使用标准单切面测针)
驱动部
标尺
X 轴 激光全息光栅尺
Z2 轴(立柱) ABS 光栅尺
分辨率
X 轴 0.05 μm
Z2 轴(立柱) 1 μm
驱动速度
X 轴0 ～ 80mm/s 外加手动
Z2 轴(立柱) 0 ～ 30mm/s 外加手动
测量速度X 轴 0.02 ～ 5mm/s
直线度*2 X 轴 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm
倾角范围X 轴 ±45o
指示精度
(20oC)
CV-3200
系列
X 轴
±(0.8+0.01L)μm L 驱动长度(mm)
宽范围 : 1.8 μm/100mm
窄范围 : 1.05 μm/25mm
±(0.8+0.02L)μm L 驱动长度(mm)
宽范围 : 4.8 μm/200mm
窄范围 : 1.3 μm/25mm
Z1 轴(检测部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)
CV-4500
系列
X 轴
±(0.8=0.01L)μm L 驱动长度(mm)
宽范围 : 1.8 μm/100mm
窄范围 : 1.05 μm/25mm
±(0.8=0.02L)μm L 驱动长度(mm)
宽范围 : 4.8 μm/200mm
窄范围 : 1.3 μm/25mm
Z1 轴(检测部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)
外观尺寸
(W×D×H)
主机*3 756×482
×966 mm
756×482
×1166 mm
1156×482
×1176 mm
766×482
×966 mm
766×482
×1166 mm
1166×482
×1176 mm
遥控箱221×344×490 mm
遥控箱 248×102×62.2 mm
重量
主机140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg
遥控箱14kg
遥控箱 0.9kg
使用温度范围15 ～ 25oC (校正时和测量时的温度变化在±1o)
使用湿度范围20 ～ 80%RH (无凝结状态)
保存温度范围-10 ～ 50oC
保存湿度范围5 ～ 90%RH (无凝结状态)
*1
