日本Hephaist株式会社NAF3C系列超薄视觉对位平台结构特点：
与传统的三层式结构的XYθ结构相比，本品采用三个驱动轴装置在同一平面内的结构设计，实现了XYθ运动超薄、低重心的结构设计。且中间滑动部份采用上下面夹紧两个轴承的[预紧双滑动]结构设计，使小体积也具有高承载、运行平滑的特性。
预紧双滑动结构图：
产品特性：
1、超薄结构
通过将三个驱动轴安装于同一平面内，实现结构简单、超薄的结构特性。
2、高刚性
由于负载安装不平衡时而产生的侧向扭力及压力过大而产生的垂直负荷，可能使普通的三点支撑结构变形。本品采用[预紧双滑动]设计，消除了以上因素对运动的影响，増加结构稳定性及产品承载力。同时，也消除了以上因素等对驱动轴产生的不良影响，使平台具有高刚性，定位精度不受负载变化影响的特点。
3、客户可跟据需要设定旋转中心
三个驱动轴安装于同一平面的结构设计，使得产品具有了可任意设定旋转中心的特性。从而方便客户按照实际需要设置旋转中心。
动作原理：
通过安装于同一平面的三个驱动轴的运动，实现定位要求。
（以下图示均以平台回零后的初始位置为基准）
产品参数
| 型号 |
NAF3C-10 |
NAF3C-16K |
NAF3C-20 |
|
行程
|
X轴:±2mm
Y轴:±2mm
θ轴:±2° |
X轴:±5mm
Y轴:±5mm
θ轴:±3° |
X轴:±3mm
Y轴:±3mm
θ轴:±3° |
| 上台面尺寸 |
100mm x 100mm |
160mm x 160mm |
200mm×200mm |
| 底面尺寸 |
120mm x 120mm |
170mm x 170mm |
220mm x 220mm |
| 高度 |
35mm |
45mm |
65mm |
| 重复定位精度 |
±1.0μm以内 |
±0.7μｍ以内 |
±1μｍ以内 |
| 无效行程 |
3.0μｍ以内 |
2.0μｍ以内 |
2.0μｍ以内 |
| 静载荷 |
200N |
1000N |
2000N |
| 动载荷 |
100N |
300N |
600N |
| 平行度 |
30μm |
| 额定速度 |
5mm/s |
| 最速度 |
10mm/s |
| 电机型号 |
PK513PA |
TS3664N16E2 |
TS3667N1E2 |
| 丝杠导程 |
1mm |
| 驱动器型号 |
MC-0514-NF-3L |
| 分辨率*2 |
0.2μm/pulse |
| 传感器型号 |
PM-L24 |
| 平台材料 |
铁：低温镀黑铬处理 铝：黑色阳极氧化处理 |
| 重量 |
2.2kg |
6kg |
14kg |
| 润滑脂 |
低发尘油脂 |
| 型号 |
NAF3C-30 |
NAF3C-40 |
| 行程 |
X轴:±3mm
Y轴:±3mm
θ轴:±3° |
X轴:±3mm
Y轴:±3mm
θ轴:±3° |
| 上台面尺寸 |
300mm x 300mm |
400mm x 400mm |
| 底面尺寸 |
320mm x 320mm |
400mm x 400mm |
| 高度 |
70mm |
80mm |
| 重复定位精度 |
±1.0μｍ以内 |
±0.7μｍ以内 |
| 无效行程 |
2.0μｍ以内 |
2.0μｍ以内 |
| 静载荷 |
4000Ｎ |
6000Ｎ |
| 动载荷 |
1000Ｎ |
1000Ｎ |
| 平行度 |
30μm |
| 额定速度 |
5mm/s |
| 最大速度 |
10mm/s |
| 步进电机型号 |
PK546PA |
| 伺服电机型号 |
HG-KR053（50W） |
| 驱动器型号 |
步进驱动：MC-0514-NF-3L / 伺服驱动：MR-J4-10A |
| 丝杠导程 |
2mm |
| 分辨率*2 |
步进：0.2μm/pulse 伺服：0.1μm/pulse |
| 传感器型号 |
PM-L24 |
| 平台材料 |
铁：低温镀黑铬处理 铝：黑色阳极氧化处理 |
| 重量 |
44kg |
60kg |
| 润滑脂 |
低发尘油脂 |
*1.步进电机驱动器为集电极开路型，如果您需要差分型，请与我们联系；
*2.此值为默认设置时的值；
*3.本品安装于运动部件上时，上述值不适用。
尺寸图：
| 型号 |
H |
H1 |
H2 |
L |
B |
Z |
W |
A1 |
T1 |
| NAF3C-10 |
35 |
6 |
6 |
120 |
110 |
4-5.5通孔 φ8沉头深4.4 |
10 |
20 |
4-M2深6 |
| NAF3C-16K |
45 |
8 |
10 |
170 |
150 |
4-5.5通孔 φ9沉头深5.4 |
160 |
60 |
4-M4深6 |
| NAF3C-20 |
65 |
10 |
10 |
220 |
180 |
4-6.6通孔 φ11沉头深6.4 |
200 |
90 |
4-M4深10 |
| NAF3C-30 |
70 |
12 |
12 |
320 |
280 |
4-6.6通孔 φ11沉头深6.5 |
300 |
90 |
4-M4深12 |
| NAF3C-40 |
80 |
15 |
15 |
400 |
370 |
4-9通孔 φ14沉头深8.6 |
400 |
210 |
4-M6深15 |
| 型号 |
A2 |
T2 |
A3 |
T3 |
A4 |
T4 |
φD |
M |
| NAF3C-10 |
60 |
4-M3深6 |
90 |
4-M4深6 |
- |
- |
- |
- |
| NAF3C-16K |
90 |
4-M4深8 |
110 |
4-M5深8 |
150 |
4-M5深8 |
20 |
- |
| NAF3C-20 |
110 |
4-M4深10 |
180 |
4-M6深10 |
- |
- |
25 |
- |
| NAF3C-30 |
210 |
4-M6深12 |
280 |
4-M6深12 |
- |
- |
60 |
- |
| NAF3C-40 |
280 |
4-M6深15 |
330 |
4-M8深15 |
380 |
4-M8深15 |
100 |
- |
