1. 简介
1.1. 产品简介
激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的高精度、高灵敏度检测设备，在制造领域应用广泛。
SJ6000激光干涉仪采用高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。
在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。
1. 功能特点
1.1. 产品功能特点
测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。
具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析等。
内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共10份 。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。
测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。
安装方便：基本重量为15kg，简单便携。
1.2. 分析标准配置
激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准：
|
数据库内置的常用标准
|
|
序号
|
标准号
|
标准名称
|
|
1
|
ISO230-2
|
老版国际标准
|
|
2
|
ISO230-1997
|
新版国际标准
|
|
3
|
ANSI B5.54
|
美国国家标准
|
|
4
|
ASME B89.1.12M
|
美国机械工程师协会标准
|
|
5
|
NMTBA
|
美国机床协会标准
|
|
6
|
BS 3800
|
英国机床标准
|
|
7
|
BS 4656
|
英国三测机标准
|
|
8
|
JIS B6330
|
日本国家标准
|
|
9
|
GB 17421-2000
|
中国国家标准
|
|
10
|
VDI 3441
|
德国机床标准
|
2. 技术指标
2.1. 技术指标
系统性能
测量方式：单频
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约6分钟
工作温度范围：(0~40)℃
环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH
存储温度范围：(-20~70)℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±6%RH (0~95) %RH
大气压力传感器：±0.1kPa
线性测量
测量距离：(0~40)m
测量精度：0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力：1nm
测量*大速度：4m/s
角度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±10°
测量精度：±(0.04%R)″ (R为显示值，单位：″)
测量分辨力：0.1″
平面度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±1.5 mm
测量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
轴向量程：(0.1~4.0)m
测量范围：±3mm
测量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.01μm
垂直度测量
轴向量程：(0.1~3.0)m
测量范围：±3mm
测量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.01μm/m
回转轴精度测量
角度测量范围：(0~360)°
测量精度：±1″
*高转速：10rpm
锂电池供电，蓝牙传输数据。
2.2. 尺寸重量与供电
² 便携箱尺寸： 560mm×460mm×270mm
² 基本重量(含三脚架，包装)：15Kg
² 供电电源：(100~240)VAC
