产品简介
薄膜电容压力传感器PPM-T750的测量原理是通过检测电容变化从而得到真空度变化，能够精确测量出超低的真空，可以测量0.018Pa～200Pa、1Pa～1kPa、10Pa～10kPa 、100Pa～100kPa 、1kPa～1Pa的真空（绝对）压力，以及0~-100kPa的负压。输出信号可选择0-5VDC或0-10VDC或4-20mA电流信号。接液部分采用抗腐蚀材料，可以测量腐蚀性气体。过程连接可选择快卸法兰，直管插入等几种方式。准确度高达0.25%FS，是实验室研究开发、工艺室、半导体过程工具及设备、各类真空包装真空蒸馏等设备。
产品特点
温度补偿范围宽
EMI抗电磁干扰
长期稳定性好
外型结构小巧紧凑
工作寿命长
产品应用
半导体处理室、半导体晶片的处理、装载腔等
石油化工
生物制药
吸收式制冷机
真空包装
冷冻干燥设备
真空蒸馏
技术参数
尺寸图
