全金属型质量流量控制器 DF-500C-全金属型质量流量控制压缩空气节能改造气体节约-

应用领域：生物产业,电子/电气/通讯/半导体,制药/化妆品,汽车及零部件,涂料

应用：

　　DF-500系列　全金属质量流量控制器适合于半导体工艺、腐蚀性气体质量、流量高准确度

特性：

　　1.采用新型电磁阀，提升了响应性，实现了整个区域1秒钟以内高速响应

　 2.采用不锈钢密封材质，可支持高反应性气体

　　3.10SCCM~10SLM的产品阵容

　　4.配备了2个通信端口，支持菊花链

　　5.标准配备了RS-485通信功能

　　6.支持ROHS、CE规格

传感器方式		热绕组传感器
阀门方式		比例电磁阀（未通电时关闭）
*目标气体（ 1）**		N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
		（未记载的气体换算成N2进行校正）
*流量范围（ 2）**		10 SCCM~10 SLM
控制范围		2~100％（F.S.）
响应能力		总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.）
		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
*精度（ 3）**		±1.0%F.S.
再现性		±0.25%F.S.
*工作压差（ 4）**		50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa）
最大入口压力		500kPa(G)
耐压		980kPa(G)
He泄漏率		1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度	使用温度	5～50℃
	精度保证温度	15～35℃
	允许储存温度	-10～60℃
允许环境湿度		10～90%RH （无结露）
气体接触材料		SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co
电气连接		D-sub 9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号		0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
流量输出信号		0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
数字通信		使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600 bps）
所需电源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接头		相当于1/4 VCR
安装姿势		推荐水平方向
*重量（ 9）**		约1100g

注：本公司在天津，北京，山东地区均设有安装施工团队及售后服务团队，为您的安全生产和良好体验保驾护航

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