应用领域：生物产业,电子/电气/通讯/半导体,制药/化妆品,汽车及零部件,涂料
应用：
DF-500系列 全金属质量流量控制器适合于半导体工艺、腐蚀性气体质量、流量高准确度
特性：
1.采用新型电磁阀，提升了响应性，实现了整个区域1秒钟以内高速响应
2.采用不锈钢密封材质，可支持高反应性气体
3.10SCCM~10SLM的产品阵容
4.配备了2个通信端口，支持菊花链
5.标准配备了RS-485通信功能
6.支持ROHS、CE规格
| 传感器方式 |
热绕组传感器 |
| 阀门方式 |
比例电磁阀（未通电时关闭） |
| 目标气体（* 1） |
N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 |
| （未记载的气体换算成N2进行校正） |
| 流量范围（* 2） |
10 SCCM~10 SLM |
| 控制范围 |
2~100％（F.S.） |
| 响应能力 |
总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.） |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa |
| 精度（* 3） |
±1.0%F.S. |
| 再现性 |
±0.25%F.S. |
| 工作压差（* 4） |
50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa） |
| 最大入口压力 |
500kPa(G) |
| 耐压 |
980kPa(G) |
| He泄漏率 |
1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 |
| 温度 |
使用温度 |
5～50℃ |
| 精度保证温度 |
15～35℃ |
| 允许储存温度 |
-10～60℃ |
| 允许环境湿度 |
10～90%RH （无结露） |
| 气体接触材料 |
SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co |
| 电气连接 |
D-sub 9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2 |
| 流量设定信号 |
0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） |
| 流量输出信号 |
0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） |
| 数字通信 |
使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600 bps） |
| 所需电源（DC） |
+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA |
| 接头 |
相当于1/4 VCR |
| 安装姿势 |
推荐水平方向 |
| 重量（* 9） |
约1100g |
注：本公司在天津，北京，山东地区均设有安装施工团队及售后服务团队，为您的安全生产和良好体验保驾护航
