注：本公司在天津，北京，山东地区均设有安装施工团队及售后服务团队，为您的安全生产和良好体验保驾护航
应用：
KOFLOC 3660 质量流量控制器是一款以小紧凑、成本较低，设计精密。用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。
特性：
1.搭配改良型恒定电流温差的流量传感器，实现高速响应
2.采用安全方向工作的常闭阀
3.通过螺线管传动器确保产品的高度可靠性
4.可控制燃烧气体的低差压（LP备选）
5.另有针对PM2.5设备特制品：流量16.7L/MIN，低压差15Kpa既可，特价供应，高性价比
| 模型 |
3660 |
| 流量范围 |
10SCCM~20SLM（可选） |
| （N2转换20°C / 1 ATM） |
| 传感器方式 |
热绕组传感器 |
| 阀门方法 |
比例螺线管阀门（未通电时关闭） |
| 控制范围（* 1） |
2~100％（F.S.） |
| 响应速度 |
在2秒内 |
| （在±2％F.S.内） |
| 准确性 |
±1.0％F.S.（25°C） |
| 温度系数 |
±0.1％F.S./°C（15~35°C） |
| 再现性 |
±0.5%F.S. |
| 操作压差 |
F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） |
| 可选：中压差压规格（MP），低压差规格（LP）可根据条件制造 |
| 压力（* 1） |
980kPa（G） |
| He泄漏率（* 2） |
1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允许周围温度 |
5~45℃ |
| 允许环境湿度 |
10~90%RH（无结露） |
| 气体接触材料 |
主体SUS316，SUS316L，磁性不锈钢 |
| 阀座FKM（选件CR或NBR） |
| 密封材料FKM（选件CR或NBR） |
| 电气连接 |
Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） |
| 流量设定 |
0~5VDC |
| 输入信号 |
（输入阻抗1MΩ以上） |
| 流量输出信号 |
0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） |
| 所需电源 |
+15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA |
| 接头 |
标准1 / 4F900 |
| （体型） |
（9 / 16.18 UNF） |
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选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
| 重量 |
约1000g |
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