中图光学轮廓检测仪采用白光干涉技术，结合具有优异抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节，随意翻转缩放，都能轻松观察、测量样品的任意特征。中图仪器提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器切合客户需求，贴心省力。

参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100%

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

中图光学轮廓检测仪粗糙度、平面度、孔洞分析等3D测量功能全部囊括，距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能覆盖，有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数。重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm，广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

薄膜粗糙度测量

磨损定量分析

塑料薄片微观

应用

在3C领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在LED行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；

在光纤通信行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在集成电路行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；

在军事领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度......