JKZC-DN系列增强型探针台
|产品概要
JKZC-DN系列增强型探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台，最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台釆 用高刚性显微镜龙门结构，显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与 样品快速分离，提高测试效率，在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表,可以完 成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。
|技术特点
•显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量的光学成像；
•卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡；
•可升级性强，可升级卡盘360度快速移动，可升级光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
详细参数
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产品型号
技术参数
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JKZC-DN4
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JKZC-DN6
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JKZC-DN8
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JKZC-DN12
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探针台台体
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主体材料
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航空铝
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航空铝
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航空铝
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航空铝
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整机尺寸（mm）
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580L*480W*620H
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630L*530W*620H
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700L*580W*620H
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800L*650W*620H
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重量
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50kg
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60kg
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80kg
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120kg
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自适应减震系统
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自适应减震底座设计，可有效过滤环境中的震动源干扰
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卡盘大小
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4",360度转动，可微调
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6",360度转动，可微调
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8",360度转动，可微调
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12",360度转动，可微调
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卡盘XY5S行程
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4"*4"，精度 10um
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6"*6"，精度 lOurm
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8"* 8"，精度
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12"*12，精度 10um
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卡盘Z轴行程
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快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米
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卡盘材质
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不锈钢镀金，具备更小的接触电阻
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卡盘吸附方式
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真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片）
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背电极测试功能
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卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能
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其它功能
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带标准接地保护，可升级，ChJKZC-UCk360度快速移动（选件）
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针座平台
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材质
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U型平台，Q235镀第带接地端子
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大小
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最多可放置4〜6个探针座 最多可放置8~10个探针座
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■mkZB系统
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显微镜类型
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体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统
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倍率范围
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16X~200X/40X~280X/20X~4000X
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显微镜行程
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具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum
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CCD成像系统
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2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能
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探针座
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种类
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丝杆型/微分头型/经济型探针座
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X-Y-Z行程
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12.5mm-12.5mm-12.5mm
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机械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夹具
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漏电精度 接口形式
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同轴夹具10pA/三轴夹具lOOfA
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同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口
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其它
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选件
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ChJKZC-UCk360度快速移动/屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率
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电力需求
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220V/50HZ
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