JKZC-DH系列综合型探针台
|产品概要
JKZC-DH系列综合型探针台是一款综合型晶圆测试探针台，可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台设备配 置十分丰富，不仅具备龙门架结构和卡盘的升降功能，还具备业内领先的卡盘快速移动技术，可快速定位 样品位置,提高测试效率。另外针座平台具备三段式升降功能,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到 快速分离，同时也方便探针卡的使用。此设备在大型实验室或者半导体工厂得到广泛运用，配合对应的仪器仪表，可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LC- D/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试,也可以实现搭载探针卡的测 试。
|技术特点
•卡盘可360度快速移动，便于快速定位样品位置,提高测试效率；
•三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离；
•加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术，结构性能稳定。
