JKZC-DH系列综合型探针台
|产品概要
JKZC-DH系列综合型探针台是一款综合型晶圆测试探针台，可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台设备配 置十分丰富，不仅具备龙门架结构和卡盘的升降功能，还具备业内领先的卡盘快速移动技术，可快速定位 样品位置,提高测试效率。另外针座平台具备三段式升降功能,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到 快速分离，同时也方便探针卡的使用。此设备在大型实验室或者半导体工厂得到广泛运用，配合对应的仪器仪表，可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LC- D/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试,也可以实现搭载探针卡的测 试。
|技术特点
•卡盘可360度快速移动，便于快速定位样品位置,提高测试效率；
•三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离；
•加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术，结构性能稳定。
详细参数
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产品型号 技术参数
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JKZC-DH6
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JKZC-DH8
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JKZC-DH12
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探针台本体
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主体材料
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航空铝
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航空铝
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航空铝
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整机尺寸（mm）
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750L*550W*680H
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800L*580W*680H
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930L*700W*680H
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重・
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75kg
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95kg
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150kg
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卡盘大小
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6" ,360度转动，可微调
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8",360度转动，可微调
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12；360度转动，可微调
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卡盘XY轴行程
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6"6",精度 10um
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8"*8"，精度 10um
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12"*12"3m 度 10um
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卡盘Z轴行程
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快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米
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卡盘材质
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不锈钢镀金，具备更小的接触电阻
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卡盘气浮移动范围
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360度快速移动，便于快速定位，提高测试效率
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卡盘吸附方式
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真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片）
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背电极测试功能
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卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能
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其它功能
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带标准接地保护，可升级
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针座平台
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材质
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U型平台，Q235镀银，带接地端子
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大小
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最多可放置6个探针座
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最多可放置8个探针座 最多可放置12个探针座
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三段式升降平台
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探针平台可以快速升降，拥有5mm和300um两档，探针平台可以上下微调， 行程25mm,升降精度gm。（使用探针卡的时候使用）
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显TH系统
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显微镜类型
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体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统
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倍率范围
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16X~200X/40X~280X/20X~4000X
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显微镜行程
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具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum
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CCD成像系统
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2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能
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探针座
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种类
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丝杆型/微分头型/经济型探针座
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X¥Z行程
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12.5mm-12.5mm-12.5mm
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机械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夹具
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漏电精度
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同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA
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接口形式
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同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口
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其它
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选件
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屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动
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电力需求
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220W50HZ
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