感光芯片 彩色200万像素 照明光源 同轴光、体式光 测量镜头 5X /10X/20X/50X（选配） 数据接ロ USB V3.0 仪器尺寸 300X123X220mm(长宽高) 仪器重量 主机重量约1600克 深度量程 3MM 测量精度 XY:+/-0.5um Z:+/-1um 滚筒支架 球形结构 版辊直径 100MM-500MM 移动平台 XYMAX移动范围10MM 图像格式 BMP 图像尺寸 1280X720像素 Ž轴精度 200纳米|光栅
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