三轴数字输出型MEMS加速度传感器 三轴数字输出加速度计 MEMS数字加速度计
FH1301D三轴数字加速度计是有我公司自行研制，用于测量加速度的传感器。它采用高精度、低噪声MEMS芯片， 具有BIMOS信号限制电路。设计考虑多用户的需求，制造采用表贴工艺 技术。具有高可靠性和高封装坚固性特点，自检测（Self-Test）功能。
本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。
二、 原理
FH1301D三轴数字加速度计是建造在硅晶片顶部的表面MEMS 多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构，并提供一个克服加速度 感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央 板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转，从而产生电压输出信号。
三、 性能指标
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FH1301D 技术参数
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X、Y、Z轴（g）测量范围
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±2 (±4 ±8 ±10 ±20 ±40)可选
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频响（Hz）
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0-250
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零偏（mg）
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<2
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零偏稳定性（mg）
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<2
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零偏重复性（mg）
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<2
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非线性度（％ F.S）
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<0. 1
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输岀接口
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RS422
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数据更新率（可设）
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500hz@460800 (最高 1000hz)
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供电要求
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供电电压（VDC）
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9-12
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输入电流（mA）
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<20
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工作环境
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使用温度（°C）
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-40 to +80
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耐加速度0.1ms
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5000g
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重量、体积
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重量（g）
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<50
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尺寸（mm）
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26*26*13.2
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