校准气体质量流量计时，标准气体的选择主要取决于仪表的实际使用气体以及校准方式。

通常情况下，许多制造商的出厂校准使用空气或氮气作为标准气体，因为其性质稳定、成本低廉。然而，如果实际工艺气体是氩气、二氧化碳、氢气或其他特殊气体，直接使用空气校准数据可能会引入较大误差。这是因为热式质量流量计的原理依赖于气体的比热容（Cp值），不同气体的比热容差异显著。

为了提高精度，对于关键应用，应使用与实际工艺气体成分一致的标准气体进行校准。如果无法获取纯气，也可以使用高纯度的混合气。布琅轲轲锶特（Bronkhorst）等厂商通常在其设备中内置了多种气体的转换系数，允许用户通过修正系数将空气校准的数据换算为其他气体。但必须注意，当实际气体的热物性与校准气体差异过大，或压力温度超出特定范围时，这种换算会带来额外的误差。为了达到最高精度，强烈建议在实际工艺气体上进行校准，特别是对于小流量或高精度要求的场合。https://www.bronkhorst-china.com/