注:本公司在天津,北京,山东地区均设有安装施工团队及售后服务团队,为您的安全生产和良好体验保驾护航
应用:
KOFLOC 3660 质量流量控制器是一款以小紧凑、成本较低,设计精密。用于不同的领域,从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种,发挥了很好的实际效果。

特性:
1.搭配改良型恒定电流温差的流量传感器,实现高速响应
2.采用安全方向工作的常闭阀
3.通过螺线管传动器确保产品的高度可靠性
4.可控制燃烧气体的低差压(LP备选)
5.另有针对PM2.5设备特制品:流量16.7L/MIN,低压差15Kpa既可,特价供应,高性价比
| 模型 |
3660 |
| 流量范围 |
10SCCM~20SLM(可选) |
| (N2转换20°C / 1 ATM) |
| 传感器方式 |
热绕组传感器 |
| 阀门方法 |
比例螺线管阀门(未通电时关闭) |
| 控制范围(* 1) |
2~100%(F.S.) |
| 响应速度 |
在2秒内 |
| (在±2%F.S.内) |
| 准确性 |
±1.0%F.S.(25°C) |
| 温度系数 |
±0.1%F.S./°C(15~35°C) |
| 再现性 |
±0.5%F.S. |
| 操作压差 |
F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) |
| 可选:中压差压规格(MP),低压差规格(LP)可根据条件制造 |
| 压力(* 1) |
980kPa(G) |
| He泄漏率(* 2) |
1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允许周围温度 |
5~45℃ |
| 允许环境湿度 |
10~90%RH(无结露) |
| 气体接触材料 |
主体SUS316,SUS316L,磁性不锈钢 |
| 阀座FKM(选件CR或NBR) |
| 密封材料FKM(选件CR或NBR) |
| 电气连接 |
Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准) |
| 流量设定 |
0~5VDC |
| 输入信号 |
(输入阻抗1MΩ以上) |
| 流量输出信号 |
0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上) |
| 所需电源 |
+15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA |
| 接头 |
标准1 / 4F900 |
| (体型) |
(9 / 16.18 UNF) |
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选项1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等 |
| 重量 |
约1000g |
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