中图白光干涉仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成，是以白光干涉技术为原理，结合具有优异抗噪性能的3D重建算法，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

粗糙度分析操作步骤：

1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；

2. 将夹具放置在载物台上；

3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；

5. 完成扫描设置和命名等操作；

6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

7. 进入数据处理界面，点击“去除外形"，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；

8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；

9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；

10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面"图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；

11. 进入分析工具界面，点击“参数分析"图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。

白光干涉仪特征

1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；

2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；

3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；

4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；

5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；

6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具备word、excel等数据报表导出功能。