¡¡¡¡ËÕÖÝZ·á»úµç——×Ô¶¯»¯ÁìÓò¸ßËٸ߾«¶Èϵͳ¼¯³ÉÉÌ£¬Îª¿Í»§Ìṩ×Ô¶¯»¯²úÆ·£¬ÏµÍ³¼¯³É£¬¿ØÖÆÏµÍ³µÄÉè¼ÆÑз¢£¬Ìṩ³ÉÌ×½â¾ö·½°¸¡£
¡¡¡¡ÃÀ¹úÅÉ¿Ëparker£¬ÈÕ±¾¹þĬÄÉ¿ÆHarmonicÆ·ÅÆ´úÀí¾ÏúÉÌ¡£ÌṩÃÀ¹úÅÉ¿ËËÅ·þµç»ú¡¢·À±¬µç»ú¡¢Ö±Ïßµç»ú¡¢Çý¶¯Æ÷¡¢¼õËÙ»ú£¬ÈÕ±¾¹þĬÄɿƼõËÙ»ú¡¢Ö´ÐÐÔª¼þ£¬Öйų́Íåapex¼õËÙ»úϵÁвúÆ·µÄÏúÊÛ¼°¼¼ÊõÖ§³Ö¡£
¡¡¡¡Îª½â¾ö΢ÐÍÁã¼þ¼Ó¹¤ÐèÇó£¬ËÕÖÝZ·á»úµçÑз¢Á˳¬¸ß¾«ÃÜÉ豸JFϵÁÐ΢Äɼӹ¤ÖÐÐÄ£¬¼Ó¹¤ÓàÁ¿·¶Î§20nm-100μm¡£
¡¡¡¡Ò»¡¢É豸ºËÐļ¼Êõ
¡¡¡¡¸ßËÙÖ÷Ö᣺µÂ¹ú½ø¿ÚÆ·ÅÆKasite/SycoTec£¬×ªËÙ60,000rpm£¬¾«¶È≤1μm
¡¡¡¡ÊÓ¾õϵͳ£ºÉÏÏÂÁ½¸ö¸ß±¶ÂÊÔ¶ÐľµÍ·Ïà»ú£¬2,000 W¸ßÇåÏñËØ£¬¿Õ¼ä·Ö±æÂÊ≤1μm
¡¡¡¡Ö±Ïßµç»ú£º½ø¿ÚÆ·ÅÆÖ±Ïßµç»ú£¬¸ß¾«¶È¡¢¸ßÏìÓ¦
¡¡¡¡¹âÕ¤·´À¡£º10nm¡¢20 nm¡¢50 nm¡¢100 nm

¡¡¡¡¶þ¡¢Ïà»ú¹¦ÄÜÓÅÊÆ
¡¡¡¡ÉÏÏà»ú£º
¡¡¡¡¢Ù ±ê¶¨µ¶¾ßÖÐÐĺÍÏà»úÖÐÐÄÎó²î¡£
¡¡¡¡¢Ú ÔÚÏß¼ì²â¹¤¼þ³ß´çÈ·¶¨ÓàÁ¿ºó½øÐÐ΢Äɼӹ¤¡£
¡¡¡¡ÏÂÏà»ú£º
¡¡¡¡¢Ù ¶Ôµ¶¹¦ÄÜ( ¾²Ì¬µ¶¾ßXYZÖµµÄ¶Ôµ¶)¡£
¡¡¡¡¢Ú µ¶¾ß¶¯Ì¬µÄµ¶°Ú²¹³¥¡£

¡¡¡¡Èý¡¢Èí¼þÓÅÊÆ
¡¡¡¡1.×Ô´øCNC¹¦ÄܵÄÔ˶¯¿ØÖÆ¿¨±à³ÌÔËËã¸÷Ö¸Áî¡£
¡¡¡¡2.×Ô¶¨ÒåÔ˶¯¹ì¼£¿ØÖÆ£¬±à¼²»Í¬ÐÎ×´£¬×Ô¶¯Íê³ÉÁã¼þ¼Ó¹¤ÐèÇó¡£

¡¡¡¡ËÄ¡¢É豸¹æ¸ñ

¡¡¡¡Îå¡¢Ó¦ÓÃÁìÓò
¡¡¡¡É豸¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚº½¿Õº½Ìì¡¢¹âѧ¡¢ÉúÎïҽѧ¡¢°ëµ¼Ì塢ͨÓûúе¼Ó¹¤¡¢Ä£¾ßÖÆÔìµÈÁìÓò×ꡢϳ¡¢Ä¥¸ß¾«Ãܼӹ¤¡£
¡¡¡¡Áù¡¢¼Ó¹¤Ó¦Óð¸Àý
¡¡¡¡¸ß¾«¶È΢Éî¿×¼Ó¹¤£º¿×ÉîϵÊý(D/L)Ô¼µÈÓÚ100

¡¡¡¡Î¢Ð¡ÍÖÔ²¸ß¾«¶È¼Ó¹¤£º°´ÍÖÔ²¹ì¼£Ä¥Ï÷¼Ó¹¤À©Õ¹µ½¶ÌÖá0.75mm£¬³¤Öá0.9mm£¬Ô²¶È¹«²î≤2μm

¡¡¡¡¸ß¾«ÃÜ΢Õë¼Ó¹¤£ºÎ¢ÕëÐÎ״ΪԲ׶ÐΡ¢Ô²ÖùÐΡ¢ÈýÀâ×¶¡¢ËÄÀâ×¶µÈ£¬¸ß¶È600-800μm£¬µ×±ß³¤200μm£¬ÕëÌå¼ä¾à500-800μm
