| 产品规格 |
MC（质量流量控制器）
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VC（体积流量控制器）
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测量单位 |
| 量程范围 |
0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800 |
（S）CCM |
| 1，2，3，5，10，20，50，100，250，500，1000 |
（S）LPM |
| 精度等级 |
±1%或（选项±0.5%） |
±1%或（选项±0.5%） |
满量程 |
| 重复性 |
±0.5% |
±0.5% |
满量程 |
| 量程比 |
100：1 |
100；1 |
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| 响应时间 |
100 |
100 |
毫秒 |
| 压降大小 |
— |
— |
请和厂家协商 |
| 操作温度 |
-10～+50 |
-10～+50 |
℃ |
| 零点漂移 |
0.02%/ATM |
0.2% |
满量程/℃ |
| 范围漂移 |
0.02%/ATM |
0.2% |
满量程/℃ |
| 湿度量程 |
0-100% |
0-100% |
无冷凝 |
| 过流率 |
2.4% |
2.4% |
满量程 |
| 最大耐压 |
125 |
125 |
PSIG |
| 供应电流 |
0.25 当流量≤20(S)LPM时
1 当流量≥50(S)LPM时30 |
安培 |
| 电压电源 |
12-25V 当流量≤20(S)LPM时
24-30V 当流量≥50(S)LPM时7-39 |
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| 输入/输出 |
0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232 |
VDC |
| 电气连接 |
8针接头或可选的工业连接接口 |
小型圆插头DIN |
机械连接
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1/8″接口：流量≤20（S）LPM
阀门侧1/2″接口，流量计侧1/4″接口：当流量为50(S)LPM和100(S)LPM时
1/2″接口：当流量为250~1000（S）LPM
1″接口：当流量>1000（S）LPM |
NPTF |
| 接液部件 |
303和302不锈钢，Viton ，RTV硅树脂，玻璃纤维增强尼龙，阳极氧化铝，
410和304不锈钢，镍，铜，Delrin ，Loctite 附加326，401，609 |
