Evident推出的LEXT OLS5100激光共聚焦显微镜是一款专为失效分析和材料工程研究设计的激光扫描显微镜，它将出色的测量精度、光学性能与智能工具相结合，能够快速高效地完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量，简化工作流程并提供值得信赖的数据。
一、共聚焦光学原理与LEXT专用物镜
OLS5100采用反射型共聚焦激光扫描光学系统，以405 nm波长激光为光源，最大输出0.95 mW，使用直径约0.4 μm的激光束扫描样品表面。共聚焦设计可有效排除离焦光线的干扰，在具有较大高度差的样品上依然获得清晰成像。配套的专用LEXT物镜在10倍至100倍范围内针对405 nm波长进行像差校正，能够在整个视场中捕捉样品的真实形貌；传统物镜难以准确测量的边缘区域，LEXT物镜同样可以给出可靠数据。结合Smart Lens Advisor智能镜头顾问，系统还能根据粗糙度测量需求自动推荐合适的物镜，进一步保证数据的可信度。
二、Smart Scan II智能扫描与PEAK算法
Smart Scan II功能让新手也能轻松获取可靠数据：只需将样品放在载物台上按下启动按钮，显微镜即可自动完成后续扫描。其核心是PEAK算法，用于构建3D数据，可在低倍率到高倍率范围内获得高精度数据，同时缩短数据采集时间。测量电子元件、MEMS等含近似垂直平面的样品台阶形貌时，系统可跳过Z轴方向不必要的扫描范围；使用MPLAPON50XLEXT物镜时，约10秒即可完成100 μm台阶的测量，且准确度不降低。HDR扫描则通过改变探测灵敏度获取两组形貌信息，构建更加准确的形貌数据。
三、符合ISO 25178标准的粗糙度与3D测量
这台激光共聚焦显微镜支持符合ISO 25178标准的表面粗糙度测量，可从线到面进行评价，能够测量接触式表面粗糙度仪难以触及的样品表面，并同时获取彩色图像、激光图像与3D形貌数据。关键指标方面：综合倍率54倍至17280倍，视场范围16 μm至5120 μm；高度测量显示分辨率0.5 nm，动态范围16位，测量噪声（Sq噪声）典型值1 nm；宽度测量显示分辨率1 nm，准确度为测量值的正负1.5%。对于超出单个视场的大范围测量，OLS5100-SAF/EAF配置的电动载物台装有长度测量模块，将位置信息与图案匹配相结合，保证拼接图像数据的准确性与可重复性。
四、高分辨率观察与综合分析功能
连续自动对焦功能在移动载物台或更换物镜时始终保持图像对焦状态，大幅减少手动调整。双重微分干涉（DIC）可实现纳米级实时观察，即使使用5倍或10倍低倍率物镜，也能获得与电子显微镜相当的实时图像，便于检测样品表面的微小损伤。轮廓测量功能允许在图像上任意绘制测量线显示表面轮廓，并可测量两点间距离、宽度、横截面积和半径；测量辅助工具可基于最高点、最低点、中间值点或平均值点精确指定待测位置，即使非常微小的位点也能准确测量。
五、智能实验管理器与工作流程自动化
智能实验管理器可自动完成实验计划创建等耗时任务。宏功能支持将整个检测流程自动化，轻松创建、编辑并运行注册的宏程序；测量数据自动填充到实验计划矩阵中，减少输入错误；测量结果以列表形式显示，可一目了然地做出通过或不通过判断。公差判断功能根据设定阈值直观呈现合格与否的结论，热图则帮助快速可视化数据分布、及早发现问题。多数据对比分析功能可并排显示多组数据，统一显示比例与3D视角，并支持导出至Excel电子表格，方便整理与评估。
六、多种配置与工业应用
OLS5100提供SAF、SMF、LAF、EAF四种配置，分别对应不同的载物台行程与最大样品高度（最高可达210 mm），可根据样品尺寸灵活选择。它在半导体晶圆、电子元件、汽车零部件、金属加工、薄膜与锂电池材料等工业领域应用广泛，可完成印制电路板粗糙度测量、晶圆台阶测量、轴承滚道沟槽评价、涂层与薄膜厚度评估等典型任务。
奥林巴斯显微镜：https://www.evidentscientific.com.cn/zh/
Evident-奥林巴斯官网-激光共聚焦显微镜-OLS5100：https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscopes/laser-confocal/ols5100/
