高温高真空的法兰变送器采用的是高温硅油填充液，且其填充工艺相较一般的法兰压力变送器更加严格。

这些改变对高温真空环境下压力变送器的可靠性和使用寿命提供了可靠的保障：

1.膜盒并不是一体成型的结构，其上有焊接的部分在具备一定条件的情况下是会透出气体的，当法兰变送器在负压中工作时，隔离膜片受到外部吸力影响而膜片外鼓，这会导致膜片内部充液压力降低。此时，外部气体便极有可能从焊缝和接头位置渗入膜盒内部，使填充液中含有气体，从而影响仪器的性能。

2.填充液的沸点温度是会随压力的降低而降低的。如果法兰式变送器在负压状态下工作，则可能导致充液沸点降低。此时如果介质的温度高于填充液体的沸点，填充液的汽化压力就会急剧增加。这些气体不仅会作用在变送器的传感器元件上，造成测量误差，还会引起隔离膜片的外鼓，造成其永久变形。

为此，制造商需要对变送器在高温高真空环境下工作的情况进行特殊处理。

常见的做法是将膜盒内填充液替换为高温硅油。其填充量应得到准确控制，不能过多或过少，在加注硅油之前，还必须完全排空硅油中的气体，尽量确保内外压力平衡。必须提前将膜盒抽至绝对真空，不留残余压力，膜盒的焊接必须绝对牢固。这些都增加了变送器的加工工作量和成本，因此高温高真空法兰变送器的价格也相较一般同类产品更加昂贵。