中国自动化学会专家咨询工作委员会指定宣传媒体
免费注册
广告服务 | 客服中心
P L C | 变频与传动 |  传 感 器 | 仪器仪表 | 工业软件 | 人机界面 | 运动控制 |  嵌 入 式 | 工业电源 | 机柜箱体
D C S | 工业互联网 |  工 控 机 | 数据采集 | 数传测控 | 工业安全 | 工业通信 |  机 器 人 | 机器视觉 | 低压电器
产品名称: 四探针测试仪 Four Point Probes
型  号: 280SI
价  格:
品  牌:
 
收藏此产品     查看收藏
产品介绍:

美国4D公司的四探针/方块电阻/电阻率测试设备:280SI (最普及型号)

  • 测量尺寸:晶圆尺寸:2-8寸(333系列可测量大至12寸晶圆,1100系列可测量大至2160mmX2400mm平板系列)

               方形片:大至156mm X 156mm;

  • 测量范围: 0.001欧姆/平方 至 800000欧姆/平方(标准型);

                可往下扩展至:0.0001欧姆/平方,往上扩展至8e9或8e11欧姆/平方。相对应的电阻率,薄膜厚度根据不同材料不同应用而不同,但都是以方块电阻作为基础设备自动计算得出,注意这是选项价格要高不少,建议客户按实际需求选择购买。

  • 测量方式: 电脑程序自动测量,或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示,此时非常适合测试不规整样片单点测量,适合实际研究需要。
  • 测量的数据: 方块电阻/电阻率/薄膜厚度,根据具体应用可以设置不同测量程序。
  • 测量的点数: 程序编排任意测量点位置及测量点数量,对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。
  • 测量的精确度:<0.1% (标准模阻);
  • 测量重复性:<0.2% (特定片子);
  • 测量速度:>45点/分钟;
  • 测量数据处理:根据需要显示2D,3D数值图,或按要求统计并输出Excel格式文件;
  • 边缘修正:具有边缘修正功能,即片子边缘3mm以内区域都能测量;
  • 探针材料:钨钢与硅片的接触电阻最小,且耐磨。另外每跟针的轴套采用非常耐磨蓝宝石材料,以确保长时间使用后间距的一致性;
  • 探针压力可调范围:90-200克之间可调;
  • 可供选择的探头类型:根据测试不同工艺要求有A, B,K, M, N等相关型号探头选择,另外还可提供专门为客户定制的应用特殊要求的探针,比如测试薄至30A的薄膜时需要使用MR型探头,这是四探针设备供应商少有能做到的。
  • 设备应用

     IC FAB/FP dispaly/LED:扩散,离子注入等掺杂工艺监控调试,薄膜电阻率或厚度测量等工序,如Intel,IBM,Motorola,TSMC,CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...

     材料类研究:杜邦(中国),电力科学院,中科院,山东科学院,清华大学,北京大学,复旦大学,华师大,电子科大,国家标准化所,质检所,光伏科学与技术国家重点实验室,Applied Materials, Materials Research...
     新能源:尚德,晶澳,英利,阿特斯,天合,LDK,海润,腾晖,鑫辉,东磁,向日葵,奥特斯维,尖山,晶科,力诺,韩华,神舟,光为,艾力克,吉阳,东营,中盛,First solar,Solar world...
             

  • 客户群广:国内已经卖出近300台之多,全世界累计各种型号四探针设备近千台,绝对的四探针设备领导者。

 

  • 使用成本

4D公司所提供的探针质保次数是25万次,而实际从客户反馈的信息是寿命达到100万次以上,甚至150万次以上。同时4D还为客户提供探头的探针更换服务,大大降低客户的使用成本。
 

  • 市场占有率高

 国内行业内有几百台的占有率,公司品牌4D已经成为四探针的代名词;
 

  • 服务有保证 

本地化的齐全的备件储备(北京,上海分别设有服务中心),样机应急供给服务,及优秀的售后服务团队;


根据应用不同工艺要求对应的探针类型详细说明:


测量数据电脑图(2D/3D)


各类型四探针设备说明:

 
根据客户不同使用要求有更多选择

* 使用液体金属汞探针替代传统硬探针的四探针设备,如:M4PP 3093;
* 针对III IV族化合物材料,应用“dynamic AC waveform”克服测量的接触电阻问题,该型号为:680I;
* 根据不同应用要求,可增加的功能有:温度控制/补偿,边缘修正,样品台定制,自动化要求定制,探头自动切换,通讯接口扩展,测量范围扩展等。

关 键 词: 四探针测试仪 方阻测试仪 电阻率测试仪
 



公司简介
产品目录
解决方案

公司名称: 西安千月机电设备有限公司
联 系 人: 张琳
电  话: 029-88825009
手  机: 13389184110
地  址: 西安市太白南路5号
邮  编: 710065
主  页:
 
该厂商相关产品:
Fluke 233数字多(Fluke 233数字多用表)
数字万用表3256-50(数字万用表3256-50)
卡片式数字万用表3244(卡片式数字万用表3244)
绝缘电阻(绝缘电阻)
SCIT-1SC红外测温(SCIT-1SC)
IR60红外线测温仪(IR60)
FLIR P系列红外热像(FLIR P系列型号红外热像仪)
德国三铯测温仪(M311/M322)
Fluke 1587/1(Fluke 1587/1577 绝缘万用表)
数字万用表Fluke 1(Fluke 116C)
TR210手持式粗糙度仪(TR210手持式)
数字万用表Fluke 1(Fluke 18B数字万用表)
数字万用表FLUCK11(FLUCK115C专用型万用表)
IR60红外测温仪(IR60)
雷泰手持测温仪(雷泰3i)
美国雷泰Marathon(Marathon MR)
雷泰Marathon F(Marathon FA)
CIT系列红外测温仪(CIT-1M1、CIT-2M1)
SCIT红外测温仪(SCIT—1M1,SCIT—2M1)
更多产品...

关于我们 | 联系我们 | 广告服务 | 本站动态 | 友情链接 | 法律声明 | 非法和不良信息举报

粤ICP备11107638号-2 经营许可证编号:粤B2-20130035 粤公网安备:44030502000203 工商网监 版权所有 工控网 Copyright©2023 Gkong.com, All Rights Reserved